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명칭
FOUP
설명
반도체 제조 공정시 발생되는 각종 불순물로부터 Wafer를 보호하는 역할을 하며, Wafer의 세정, 적재, 보관, 이송 등 자동화 공정에 사용하기 위한 제품입니다.
각종 불순물로부터 Wafer를 격리하기 위해 FOUP의 재질, 제조공정, 구조, 정밀도 등에 대한 특별한 관리가 요구되는 제품입니다.
용도
반도체 공정간 Wafer 이송, 적재
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