半导体制造工程时发生的各种不纯物中有保护Wafer的作用，为了Wafer的清洁，装载，保管，移送等自动化工程的产品。

为了从各种不纯物中隔离Wafer，对FOUP的材质，制造工程，组成，精密度等相关的特别管理有所要求的产品。