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Product
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Semiconductor
FOUP
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Catalog
名称 FOUP
説明

半導体製造工程時に発生する各種不純物からWaferを保護する役割を行い、Waferの洗浄、積載、保管、移送などの自動化工程に使用するための製品です。各種不純物からWaferを隔離するためにFOUPの材質、製造工程、構造、精度などに対する特別な管理が要求される製品です。 

用度 半導体工程間Wafer移送、積載
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